GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

标准编号：GB/T 5226.33-2017

标准名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

英文名称：Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

发布日期：2017-10-14

实施日期：2018-05-01

归口单位：全国工业机械电气系统标准化技术委员会

执行单位：全国工业机械电气系统标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

起草人

李天笑、黄祖广、郭和平、沈红、孙岩、刘忠武、薛瑞娟、王海涛、田保峡、孙东曦、潘菊凤、张志强、李补忠

起草单位

中微半导体设备(上海)有限公司、上海微电子装备有限公司、沈阳拓荆科技有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司、北京机床研究所、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、北京七星华创电子股份有限公司、理想太阳能（上海）有限公司

标准范围

GB/T5226的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子设备及系统的安全要求。

注1：本部分中的“电气＂一词包括电气、电子和可编程电子设备三方面（如电气设备是指电气设备、电子设备和可编程电子设备）。

注2：就本部分而言，“人”(Person）一词泛指任何个人包括受用户或其代理指派，使用和管理上述设备的人。

本部分所论及的设备是从机械电气设备的电源引人处开始的（见5.1)。

注3:GB/T16895系列标准给出了建筑物电气装置的要求。

本部分适用的电气设备或电气设备部件，其标称电压不超过1000Va.c．或1500Vd.c.，额定频率不超过200Hz。对于更高的电压或频率，可能需要特殊的要求。

注4：电气设备内部派生电压超过上述电源电压限值仍属本部分的范围内．

本部分包括针对电气安全隐患的防护措施和针对非电气安全隐患的电气联锁保护电路，但不涵盖由其他标准或法规规定的对人身安全保护的所有要求（如化学品危险、机械危险、辐射危害）。每种类型的机械适应其特定要求以提供足够的安全。

下列半导体制造设备的电气装置应提供附加和特殊技术要求：

——使用、加工或生产易爆材料；

——在易燃易爆环境中使用；

——当生产或使用某种材料时有特殊风险；

——作为起重机械（包括在IEC60204-32)。

本部分不包括半导体设备的性能或功能特性规范。本部分不涉及对人类健康可能造成影响的源于半导体设备的排放（如电磁场，噪声）。

本部分没有规定电磁兼容性（EMC）的要求。

标准文档截图