GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

标准编号：GB/T 35310-2017

标准名称：200mm硅外延片

英文名称：200mm silicon epitaxial wafer

发布日期：2017-12-29

实施日期：2018-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

马林宝、骆红、杨素心、杨帆、金龙

起草单位

南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院

标准范围

本标准规定了直径200mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。

本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。

标准文档截图