GB/T 36176-2018 真空技术 氦质谱真空检漏方法

标准编号：GB/T 36176-2018

标准名称：真空技术 氦质谱真空检漏方法

英文名称：Vacuum technology—Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer

发布日期：2018-05-14

实施日期：2018-12-01

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

执行单位：全国真空技术标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

起草人

王勇、孟冬辉、史纪军、黄文平、任国华、孙伟、张春元、窦仁超、言文静、彭光东、景嘉荣、李斌、孙立臣、闫荣鑫、王国东、胡眉、邵容平、陆鸣、言继春、王功发、孙刚、孙威、王玲玲

起草单位

北京卫星环境工程研究所、宁波莱宝真空自动化技术有限公司、沈阳真空技术研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司

标准范围

本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。

本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。

标准文档截图