GB/T 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法

标准编号：GB/T 35049-2018

标准名称：真空技术 四极质谱检漏方法

英文名称：Vacuum technology—Leak testing method by quadrupole mass spectrometer

发布日期：2018-05-14

实施日期：2018-12-01

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

执行单位：全国真空技术标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

起草人

窦仁超、孙立臣、孟冬辉、刘磊、史纪军、黄文平、喻新发、邵容平、张立伟、王勇、闫荣鑫、洪晓鹏、任国华、冯琪、陈然、韩琰、王健、刘兴悦、孙立志、王玲玲

起草单位

北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、沈阳真空技术研究所

标准范围

本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求．

本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。

标准文档截图