GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级

标准编号：GB/T 25915.9-2018

标准名称：洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

发布日期：2018-06-07

实施日期：2018-10-01

归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

执行单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

姜皓遐、殷晓冬、金真、袁晓东、张利群、夏群艳、石小雷、邴绍同、王大千、黄吉辉、蒋乃军、王尧、苏钢民、吴晓媛

起草单位

中天道成（苏州）洁净技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、苏州净化工程安装有限公司、中电投工程研究检测评定中心、深圳市亿天净化技术有限公司、中国工程物理研究院八所、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、中国电子工程设计院、中国电子学会洁净技术分会、北京世源希达工程技术公司、深圳新科特种装饰工程公司

标准范围

GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。

本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05μm~500μm的粒子。

本部分对以下事项未予考虑：

——特定工艺的洁净度及适合性要求；

——表面的清洁步骤；

——材料特性；

——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项；

——分级和测试统计方法的选择和使用；

——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。

标准文档截图