GB/T 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南

国家标准
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标准编号:GB/T 36306-2018

标准名称:洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南

英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Guidelines for airborne chemical contamination control

发布日期:2018-06-07

实施日期:2018-10-01

归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

执行单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

王尧、娄宇、杨子强、蔡杰、张利群、吴小泉、石小雷、姜皓遐、翟传明、苏钢民、殷晓冬、李启东、朱兰、王小兵、徐小浩、钱菁、蒋乃军、耿文韬、吴益峰、安志星、刘娜

起草单位

南京天加环境科技有限公司、苏州华泰空气过滤器有限公司、爱美克空气过滤器(苏州)有限公司、苏州市恩威特环境技术有限公司、苏州净化工程安装有限公司、北京世源希达工程技术公司、中天道成(苏州)洁净技术有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、苏州市计量测试研究所、中国电子工程设计院、中电投工程研究检测评定中心、北京希达建设监理有限责任公司、中国标准化协会、深圳新科特种装饰工程公司

标准范围

本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。

本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。

本标准不适用于核能和军事应用。

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