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GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
标准编号：GB/T 36401-2018
标准名称：表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
英文名称：Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis
发布日期：2018-06-07
实施日期：2019-05-01
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
汤丁亮、李展平、刘芬、王水菊、岑丹霞、姚文清
起草单位
厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系
标准范围
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。