GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝

标准编号：GB/T 36653-2018

标准名称：电子级三甲基铝

英文名称：Electronic grade trimethylaluminium

发布日期：2018-09-17

实施日期：2019-01-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰

起草单位

江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院

标准范围

本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。

本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。

分子式：C₃H₉Al

相对分子质量：72.09（按2013年国际相对原子质量计算）

标准文档截图