GB/T 36655-2018 电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的测试方法 XRD法

国家标准
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标准编号:GB/T 36655-2018

标准名称:电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的测试方法 XRD法

英文名称:Test method for alpha crystalline silicon dioxide content of spherical silica powder for electronic packaging—XRD method

发布日期:2018-09-17

实施日期:2019-01-01

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

起草人

封丽娟、李冰、曹家凯、吕福发、陈进、夏永生、阮建军、王松宪

起草单位

国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、汉高华威电子有限公司、江苏联瑞新材料股份有限公司

标准范围

本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉中α态晶体二氧化硅含量的XRD测试方法。

本标准适用于电子封装用球形二氧化硅微粉中检测α态晶体二氧化硅含量,其他无定形二氧化硅含量的检测也可参照本标准执行。α态晶体二氧化硅含量测试范围0.5%以下半定量分析,0.5%~5%定量分析。

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