GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片

标准编号：GB/T 12964-2018

标准名称：硅单晶抛光片

英文名称：Monocrystalline silicon polished wafers

发布日期：2018-09-17

实施日期：2019-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

孙燕、卢立延、楼春兰、杨素心、徐新华、张海英、潘金平、张雪囡

起草单位

有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、有色金属技术经济研究院

标准范围

本标准规定了硅单晶抛光片（简称硅抛光片）的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。

本标准适用于直拉法、悬浮区熔法（包括中子嬗变掺杂和气相掺杂）制备的直径不大于200mm的硅单晶抛光片。产品主要用于制作集成电路、分立元件、功率器件等，或作为硅外延片的衬底。

标准文档截图