GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定激光法

国家标准

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标准编号：GB/T 37213-2018

标准名称：硅晶锭尺寸的测定激光法

英文名称：Test method for silicon brick dimension—Laser technology method

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-11-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

宫龙飞、金善明、唐珊珊、刘坤、林清香、夏根平

苏州协鑫光伏科技有限公司、山东大海新能源发展有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司

本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法，包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。

本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。