GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

标准编号：GB/T 4059-2018

标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法

英文名称：Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-11-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

胡伟、耿全荣、柳德发、薛心禄、宗凤云、邱艳梅、楚东旭、刘翠、梁洪、唐珊珊、胡自强、鲁文锋、蔡延国、尹东林、刘国霞、高明、王瑞、姚利忠、王佳

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、鄂尔多斯多晶硅业有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、山东大海新能源发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、乐山市产品质量监督检验所

标准范围

本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。

本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数）的测定，测定范围为0.01×10¹³Cm^-3~

500×10¹³cm^-3。

标准文档截图