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GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
标准编号：GB/T 16596-2019
标准名称：确定晶片坐标系规范
英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
卢立延、孙燕、楼春兰、胡金枝、潘金平、杨素心、李素青
起草单位
有色金属技术经济研究院、浙江海纳半导体有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心
标准范围
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。
本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。