GB/T 37416-2019 洁净机器人通用技术条件

标准编号：GB/T 37416-2019

标准名称：洁净机器人通用技术条件

英文名称：General specifications of clean-room robot

发布日期：2019-05-10

实施日期：2019-12-01

归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会

执行单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

起草人

徐方、邹风山、王金涛、唐忠华、张锋、秦修功、洪旭东、刘在行、尹作重、李志海、谭学科、边弘晔、吴成东、丛明

起草单位

沈阳新松机器人自动化股份有限公司、中国科学院沈阳自动化研究所、大连理工大学、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、东北大学、沈阳芯源微电子设备有限公司、北京锐洁机器人科技有限公司

标准范围

本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。

本标准适用于在洁净室使用的，在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。

标准文档截图