GB/T 14139-2019 硅外延片

标准编号：GB/T 14139-2019

标准名称：硅外延片

英文名称：Silicon epitaxial wafers

发布日期：2019-06-04

实施日期：2020-05-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张海英、李慎重、胡金枝、卢立延、蒋玉龙、骆红、李素青

起草单位

浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院

标准范围

本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明

书和订货单（或合同）内容。

本标准适用于在直径不大于150mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。

标准文档截图