GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

标准编号：GB/T 38341-2019

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

英文名称：Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments

发布日期：2019-12-31

实施日期：2020-04-01

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

王磊、黄创君、朱悦、夏长奉、石云波、李海斌、张威、程逸轩、于振毅、陆学贵、黄庆安、龙克文、肖昆辉、郑凤杰、马书嫏、陈得民

起草单位

东南大学、佛山市川东磁电股份有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司、华为技术有限公司、中机生产力促进中心、沈阳国仪检测技术有限公司、北京大学、中国科学院电子学研究所

标准范围

本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。

本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。

标准文档截图