GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

国家标准
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标准编号:GB/T 38616-2020

标准名称:纳米定位与扫描平台术语

英文名称:Terminology for nano positioning and scaning stage

发布日期:2020-04-28

实施日期:2020-11-01

归口单位:全国电子测量仪器标准化技术委员会

执行单位:全国电子测量仪器标准化技术委员会

主管部门:工业和信息化部(电子)

起草人

须颖、戴敬、施玉书、贾静、王贺、安冬、邵萌、戴超、文杰

起草单位

沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控(天津)仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学

标准范围

本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。

本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。

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