GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

标准编号：GB/T 38614-2020

标准名称：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

英文名称：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

发布日期：2020-04-28

实施日期：2020-11-01

归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会

执行单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会

主管部门：工业和信息化部（电子）

起草人

须颖、戴敬、施玉书、贾静、石怀涛、邵萌、安冬、戴超、文杰

起草单位

沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控（天津）仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学

标准范围

本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。

本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。

标准文档截图