GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法

标准编号：GB/T 5252-2020

标准名称：锗单晶位错密度的测试方法

英文名称：Test method for dislocation density of monocrystal germanium

发布日期：2020-06-02

实施日期：2021-04-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张路、冯德伸、姚康、刘新军、韦圣林、黄洪伟文、马会超、普世坤、郭荣贵、向清华

起草单位

有研光电新材料有限责任公司、国合通用测试评价认证股份公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中锗科技有限公司、北京国晶辉红外光学科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、义乌力迈新材料有限公司

标准范围

本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。

本标准适用于｛111}、｛100｝和｛013｝面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0cm^-2~100000cm^-2。

标准文档截图