GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷

标准编号：GB/T 38866-2020

标准名称：电子工业用二氯硅烷

英文名称：Dichlorosilane for electronic industry

发布日期：2020-07-21

实施日期：2021-02-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

丰雷、叶家爱、刘畅、万烨、戴帅、谢秋琪、禹金龙、杨利、曹作斌、曲庆、黄辉、谭鹏程、李威、方艾黎、龚瑞、杨剑、张园园、王春英、袁乐、傅铸红、于青玉、方华、陈鹰、李春华、邓远方、周鹏云、谭依玲

起草单位

湖北晶星科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、达州市质量技术监督检验测试中心、湖北省标准化与质量研究院、唐山三孚电子材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、随州市信息与标准化所、西南化工研究设计院有限公司

标准范围

本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。

本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。

标准文档截图