GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

标准编号：GB/T 38976-2020

标准名称：硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

英文名称：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method

发布日期：2020-07-21

实施日期：2021-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

王永涛、孙燕、任丹雅、赵志婷、陆敏、林兴乐、徐新华、胡金枝、蔡丽艳、杨素心

起草单位

有研半导体材料有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门银固美能源科技有限公司、上海合晶硅材料有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司

标准范围

本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。

本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5X10¹⁵cm^-3(0.05ppma)~2.5X1018cm^-3(50ppma)

注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。

标准文档截图