GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

标准编号：GB/T 39144-2020

标准名称：氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

英文名称：Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry

发布日期：2020-10-11

实施日期：2021-09-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

马农农、何友琴、何烜坤、杨素心、颜建锋、倪青青、陈潇、刘立娜、闫方亮、杨丽霞

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、东莞市中镓半导体科技有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、有色金属技术经济研究院

标准范围

本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。

本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×10¹⁴cm^-3。

注:氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。

标准文档截图