GB/T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）

标准编号：GB/T 39516-2020

标准名称：微纳米标准样板（几何量）

英文名称：Micro nano standard samples（geometric）

发布日期：2020-11-19

实施日期：2021-06-01

归口单位：全国量具量仪标准化技术委员会

执行单位：全国量具量仪标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

起草人

李锁印、付兴昌、赵琳、冯亚南、姜志刚、许刚、雷李华、赵军、傅云霞、梁法国、韩志国、许晓青、张晓东、苏翼雄、张恒、张松涛、蔡潇雨

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、广西壮族自治区计量检测研究院、上海市计量测试技术研究院、珠海市怡信测量科技有限公司、成都工具研究所有限公司、中国计量科学研究院、中国计量大学

标准范围

本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。

本标准适用于线间隔为0.05μm ~ 10μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01μm ~ 100μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm ~ 1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm ~ 1000nm的纳米线宽标准样板。

标准文档截图