GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法

标准编号：GB/T 39163-2020

标准名称：靶材与背板结合强度测试方法

英文名称：Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies

发布日期：2020-11-19

实施日期：2021-10-01

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

执行单位：全国有色金属标准化技术委员会

主管部门：中国有色金属工业协会

起草人

丁照崇、陈明、贺昕、林若虚、曹欢欢、王云能、曹晓萌、张静、赵永善、熊晓东、李勇军、张晓娜、袁海军、李利利、王传军

起草单位

有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司

标准范围

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。

本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。

注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。

标准文档截图