GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

标准编号：GB/T 25915.10-2021

标准名称：洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration

发布日期：2021-08-20

实施日期：2022-03-01

归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

执行单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

袁晓东、黄吉辉、孙玉澄、苗心向、王大千、邴绍同、夏薇佳、吕海兵、杨云涛、陈汉青、袁有华、陶清宝、张秀春、侯忆、范国锋、施红平、金真、童广才、王芳、崔艳、闫彩萍、陈晶晶

起草单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州市计量测试院、苏州宏远净化技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、中国合格评定国家认可中心、上海风神环境设备工程有限公司、上海浩泽诺瑞空气净化科技有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、烟台宝源净化有限公司、中国标准化协会、上海市室内环境净化行业协会、无锡汉佳医疗科技有限公司、茂盟（上海）工程技术股份有限公司

标准范围

本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质（包括分子、离子、原子、颗粒物）存在情况的表面洁净度分级系统。

本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面，如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。

注1：本文件仅考虑徽粒子的化学性质，未考虑微粒子的物理性质．本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。

注2：本文件不涉及污染产生的过程。不涉及与时间有关的影响因素（沉降、沉积、老化等）以及与过程有关的活动（如转移、处理等），也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。

标准文档截图