YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

标准编号：YS/T 1392-2020

标准名称：氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

英文名称：Determination of thecontent of chlorosilane components- Gas chromatographic method

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

批准发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

起草人

王春明、王彬、刘晓霞、沈峰、赵娟龙、曹岩德、银波、邱艳梅、楚东旭、李小晴、王桃霞、付萍

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司

标准范围

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01%~20%，三氯氢硅、四氯化硅为0.01%~100%。

标准文档截图