YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法

标准编号：YS/T 1290-2018

标准名称：多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法

发布日期：2018-10-22

实施日期：2019-04-01

归口单位：

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。

本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%-10.00%。

标准文档截图