JC/T 2372-2016 集成电路用石英舟

标准编号：JC/T 2372-2016

标准名称：集成电路用石英舟

发布日期：2016-07-11

实施日期：2017-01-01

归口单位：

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、清洗、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。

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