标准编号：YS/T 1141-2016
标准名称：钛蒸发料
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
归口单位：
批准发布部门：工业和信息化部
本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。
本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
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