标准编号:YS/T 1123-2016
标准名称:铂蒸发料
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
归口单位:
批准发布部门:工业和信息化部
本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单
(或合同)内容。
本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。