标准编号:YS/T 26-2016
标准名称:硅片边缘轮廓检验方法
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
归口单位:
批准发布部门:工业和信息化部
本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口),砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。