YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

有色金属行业标准
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标准编号:YS/T 26-2016

标准名称:硅片边缘轮廓检验方法

发布日期:2016-07-11

实施日期:2017-01-01

归口单位:

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。

本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口),砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。

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