SJ/T 11634-2016 电子工业用显影液中甲醇的测定 顶空气相色谱法

标准编号：SJ/T 11634-2016

标准名称：电子工业用显影液中甲醇的测定 顶空气相色谱法

发布日期：2016-04-05

实施日期：2016-09-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

陈玉英、尹云舰、黄德新 等

起草单位

杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

标准范围

本标准规定了用顶空气相色谱法测定电子工业用显影液中甲醇含量的方法。 本标准适用于电子工业用显影液中甲醇含量的测定。本方法甲醇最低检测浓度为1mg/kg。

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