SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

电子行业标准
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标准编号:SJ/T 31080-2016

标准名称:光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

发布日期:2016-01-15

实施日期:2016-06-01

归口单位:中国电子技术标准化研究院

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

张倩、石少青、辛士卓 等

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所

标准范围

本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。

本标准适用于3600F型图形发生器,其他型号图形发生器(如3600型、EM250型等)可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。

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