YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

标准编号：YS/T 24-2016

标准名称：外延钉缺陷的检验方法

发布日期：2016-04-05

实施日期：2016-09-01

归口单位：

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。

本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷数量比较少且彼此不相连，可对钉缺陷进行计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。

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