JB/T 6922-2015 真空蒸发镀膜设备

标准编号：JB/T 6922-2015

标准名称：真空蒸发镀膜设备

发布日期：2015-10-10

实施日期：2016-03-01

归口单位：

批准发布部门：工业和信息化部/国家能源局

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。 本标准适用于极限压力在5×10 -4 Pa～5×10 -3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。

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