YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

标准编号：YS/T 15-2015

标准名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

马林宝、杨帆、葛华等

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

标准范围

本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。

标准文档截图