YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材

有色金属行业标准
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标准编号:YS/T 1024-2015

标准名称:溅射用钽靶材

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

归口单位:全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

钟景明、李桂鹏、汪凯等

起草单位

宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等

标准范围

本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)

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