SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
标准编号:SJ/T 11516-2015
标准名称:薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
起草人
万承华、张沛、熊启龙 等
起草单位
深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
标准范围
本标准规定了薄膜晶体管(TFT)用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。