SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范
标准编号:SJ/T 11505-2015
标准名称:蓝宝石单晶抛光片规范
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
起草人
何秀坤、李静、陈俊 等
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、合肥晶桥光电材料有限公司等
标准范围
本标准规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单晶抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装运输和贮存等内容。 标准适用于泡生法和直拉法生长的蓝宝石单晶抛光片,其它方法生长的蓝宝石单晶抛光片也可参照本标准。