SJ/T 11497-2015 砷化镓晶片热稳定性的试验方法

标准编号：SJ/T 11497-2015

标准名称：砷化镓晶片热稳定性的试验方法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

何秀坤、董彦辉、刘兵 等

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

标准范围

本标准规定了半绝缘砷化镓(GaAs)热稳定性的试验方法。 本标准适用于电阻率在10∧4Ω·cm～10∧9Ω·cm范围半绝缘砷化镓单晶材料的热稳定性试验。

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