SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳

标准编号：SJ/T 11517-2015

标准名称：电子工业用气体 一氧化碳

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

万华、王新鹏、吴平修 等

起草单位

西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种气体研究所有限公司等

标准范围

本标准规定了一氧化碳的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于甲酸脱水、甲酸甲酯选择分解、木炭还原二氧化碳、甲醇裂解或使用天然气、轻油、重质液态烃、焦炭、煤等含碳物质为原料经过氧化、蒸汽转化或二氧化碳还原等不同工艺过程获得并经精制得到的一氧化碳产品。它在多晶态钻石膜生产中，为化学气相沉积(CVD)工艺过程提供碳源。 分子式：CO相对分子质量：28．0101（按2007年国际相对原子质量计算）

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