SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
标准编号：SJ/T 11493-2015
标准名称：硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
马农农、何友琴、何秀坤 等
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
标准范围
本标准规定了用二次离子质谱法(SIMS)对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。 本标准适用于锑、砷、磷的掺杂浓度＜0．2％（1×10∧2at·cm-3）的单晶样品，其中氮的浓度大于等于1 ×10∧14 at·cm-3
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