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SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
标准编号：SJ/T 11491-2015
标准名称：短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
李静、何秀坤、刘兵 等
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
标准范围
本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。 本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法，测量低阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×10∧16at.com3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。