YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

有色金属行业标准
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标准编号:YS/T 980-2014

标准名称:高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

发布日期:2014-10-14

实施日期:2015-04-01

归口单位:全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

刘爱华、孙平 等

起草单位

峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司等

标准范围

本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。 本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为1×10-6%~4×10-5%。

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