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YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
标准编号：YS/T 983-2014
标准名称：多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
敖细平、王波 等
起草单位
四川新光硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司等
标准范围
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。 本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%～100%。