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YS/T 43-2011 高纯砷
标准编号:YS/T 43-2011
标准名称:高纯砷
发布日期:2011-12-20
实施日期:2012-07-01
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
起草人
杨卫东、程高明 等
起草单位
峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司
标准范围
本标准规定了高纯砷的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输、贮存等。本标准适用于以工业砷为原料,经升华、氯化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于99.999%、99.9999%、99.99999%的高纯砷。产品主要用于制造砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。