JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备

标准编号：JB/T 8945-2010

标准名称：真空溅射镀膜设备

发布日期：2010-02-21

实施日期：2010-07-01

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

蔡东锋、张远青 等

起草单位

广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司等

标准范围

本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。

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