标准编号：JC/T 179-2011
标准名称：透明石英玻璃坩埚
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-07-01
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
张浩运、吴洁 等
中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院
本标准规定了QSG1、QSG2、QSG3三种透明石英玻璃坩埚的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃坩埚。
立即下载标准文件