JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

标准编号：JB/T 4081-2011

标准名称：真空技术 溅射离子泵

发布日期：2011-12-20

实施日期：2012-04-01

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

朱国精、邹蒙 等

起草单位

北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所

标准范围

本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。

标准文档截图