JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

标准编号：JB/T 10439-2004

标准名称：单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

发布日期：2004-03-12

实施日期：2004-08-01

归口单位：全国工业电热设备标准化技术委员会

批准发布部门：国家发展和改革委员会

起草人

陈巨才

起草单位

西安理工大学晶体生长设备研究所

标准范围

本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。 u3000u3000本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

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